半導体フィルタ
半導体製造工程内の様々なフィルター及びシステムをご提供します。
- カーソルを画像に合わせると詳細を表示します。
ケミカルフィルタ
半導体製造工程のクリーンルーム全体や機器、または局所的に特定作業環境の空気ろ過を行う高性能フィルター。
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ChemCoreフィルタ
リソガードキャビネットに使用する酸、塩基（アミン、アンモニアガス）、凝縮性の有機ガス除去に優れたフィルター。活性炭の詰め替え可能。
リソガードキャビネット・フィルター
KrFエキシマレーザーやArFエキシマレーザーなど高性能なリソグラフィプロセスに要求される厳しいケミカルコントロールを必要とする環境下に最適なシステム。
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リソガード12キャビネット
LG12システムと搭載するフィルタは、酸性ガス、揮発性ガス、凝縮性有機物質、有害粒子を効果的に除去する装置です。
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リソガードv2.0キャビネット
小型システムで流量に応じた3タイプのキャビネットが標準品としてあります。
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Lithoguard（BMS Max）フィルタ
弊社リソガードシリーズに対応するケミカルフィルタ。活性炭の詰め替え可能。
POUフィルタ
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Point-of-Use(POU)局所フィルタ
高純度の空気環境が必要とされる工程の圧縮空気ろ過に最適です。活性炭の詰め替え可能。
