フィルトレーションテクノロジーのグローバルリーダー、ドナルドソン。

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ケミカルフィルタ FAQ

Q1.ケミカルフィルタとは何ですか?

パーティクルよりもはるかに小さい塩基性・酸性および有機ガスといった
気中分子状汚染物質(Airborne Molecular Contamination/AMC)の除去が可能なフィルタです。
AMCは、圧縮空気、クリーンドライエア(CDA)、窒素ガスといった不活性ガス中にも存在します。



Q2.ケミカルフィルタで除去できるAMCには、具体的にどのようなものがありますか?

ドナルドソンのケミカルフィルタは、
  ○ アンモニア・アミン等の塩基性ガス
  ○ 二酸化硫黄・硫化水素等の酸性ガス
  ○ トルエン等の有機ガス
  ○ TMS、HMDS、HMDSO等のシロキサン
というように、広範囲にわたって除去することができます。

Q3.ケミカルフィルタの使用例を教えてください。

特に清浄度の高いエアを必要とする設備やプロセスに適しています。
半導体・液晶パネル用露光装置、エキシマレーザー発振装置、その他各種評価設備でも使用されています。



Q4.どのようにケミカルフィルタを選定すれば良いですか?
   また、ケミカルフィルタの使用可能期間は、どのくらいですか?

除去対象とする汚染物質の量と種類、フィルタの使用条件により異なります。
詳しくは、お問い合わせページよりご連絡ください。

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